半导体用不锈钢无缝管
材质主流316l 高纯低碳不锈钢,超低碳、含钼,抗晶间腐蚀、耐特种气体 / 化学品腐蚀,金属析出极低,适配半导体严苛工况。
核心类型
ep 电解抛光管:内壁镜面光洁、粗糙度极低、低吸附、低放气、无颗粒脱落,用于特气、超纯水、高纯化学品核心工艺管路。
ba 光亮退火管:洁净度中等,成本更低,用于普通氮气、氩气、厂务真空等辅助管路。
工艺特点无缝冷轧工艺,组织致密无缺陷;全程洁净室生产、超纯水精密清洗、真空密封包装,杜绝微颗粒、杂质污染。
应用场景半导体晶圆厂超高纯特气输送、蚀刻 / 清洗化学品管路、超纯水系统、高真空管路,保障制程洁净、提升芯片良率。
关键要求遵循 semi、astm 标准,严控内壁粗糙度、材质纯净度、杂质含量和密封精度,可轨道自动焊接。